设备配置
该设备主要由一套中频可控硅电源、二套炉体,
二套真空机组、一套水冷装置、二套汇流母线、
二个工作台等组成。中频炉(真空)
炉体上的配置有感应加热装置、水冷转盘、进电
装置、倾转装置、提升机构、测温机构及视察窗
等。
真空机组的配置有K-400扩散泵、ZJ-300罗茨泵、
2X-70旋片泵及相关阀门、管道等。
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